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李生 先生
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发布时间:2020-07-23 03:11:27
用高频火花检漏器、热偶真空计检查真空度变化。火花打在规管管颈上(不可打在规管上),小型真空泵供应商,由辉光颜色可判断真空度情况;正常时,泵开启后辉光颜色应由深紫、玫瑰红逐步变为浅蓝,直到辉光极微,肇庆小型真空泵,只见玻璃的荧光,此时,真空度已较高了。在辉光转为浅蓝色后,即可改用热偶真空计监测真空度。一开始也可单用热偶真空计测量。但两者不要同时进行,以免损坏热偶规管。如果在检查时用火花检漏器在玻璃管上来回移动打不出辉光,且火花能钻入玻璃管内成线状,说明真空度极低(近于大气压强)。如果老是呈紫色,泵的真空度也不高,应仔细检查泵的各部位,看是否橡皮管接头等处漏气。若热偶规管测真空度时有一定的指示,则可夹上铁夹子或突然停泵短时间记取压强随时间变化曲线,判断是泵不好还是漏气造成的。要认真区别漏气、放气、泵损坏三种曲线的不同情况,作仔细判断。
真空泵使用寿命不长主要是因为没有正确的使用和日常没有注重***的习惯。
(1)真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
(2)正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
(3)真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
(4)正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,小型真空泵价格,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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